Как устроена трубчатая печь

Корпус с футеровкой из муллитового волокна охватывает трубу; нагреватели — проволока (1200 °C), стержни SiC (1400) или MoSi2 (1600–1700). Торцы трубы закрываются фланцами из нержавеющей стали с уплотнениями и штуцерами: вакуумирование до −0.1 МПа или проток газа. Образец в лодочке-тигле задвигается в центр трубы.

Выбор параметров

ПараметрНа что влияетКаталог Kadamm
Диаметр трубыГабарит лодочки/образцаØ40–100 мм
Материал трубыПредел температуры, прозрачностькварц / корунд
Зона нагреваДлина образца200–600 мм
Число зонГрадиент или длинная равномерная зона1–2
СредаВакуум / инертный газ / CVD-газыдо −0.1 МПа; 3 канала у CVD

Одна зона или две?

Двухзонная печь независимо регулирует две половины нагревателя: либо выравнивает длинную зону (600 мм у Kadamm МПТ-16), либо держит управляемый градиент — нужен для транспортных реакций и осаждения из паровой фазы.

Чем CVD-комплекс отличается от печи

CVD (химическое осаждение из газовой фазы) требует точной подачи нескольких газов. CVD-комплексы Kadamm (Kadamm МПТ-12-CVD, Kadamm МПТ-14-CVD, Kadamm МПТ-16-CVD) — это печь плюс газовая стойка на три канала с расходомерами и вакуумный тракт на KF-соединениях, согласованные в одну систему: покрытия, наноструктуры, атмосферное спекание.

Серии каталога

СерияТемператураДля чегоКлючевая особенность
МПТ-121200 °CОтжиг и синтез в вакууме/газеОткидной корпус, зона 420 мм, 1–2 зоныОткрыть
МПТ-141400 °CСпекание, синтезSiC, зоны 200/400 ммОткрыть
МПТ-161600 °CТехническая керамика, градиенты1–2 зоны, зона до 600 ммОткрыть
МПТ-12Б1200 °CСетка Ø × зона, насос в комплектеЗоны 205/350/440 ммОткрыть
МПТ-14Б1400 °CСетка Ø × зонаНасос в комплектеОткрыть
МПТ-17Б1700 °CПредельные температуры в трубеMoSi2, термопара BОткрыть
МПТ-12-CVD1200 °CCVD-процессы3 газовых канала, расходомерыОткрыть
Kadamm МПТ-12
МПТ-12
МПТ-12
Трубчатая 1200 °C
Кварцевые трубы Ø50–100 мм, откидной корпус, вакуум −0.1 МПа.
Смотреть модели
Kadamm МПТ-14
МПТ-14
МПТ-14
Трубчатая 1400 °C
Корундовые трубы, стержни SiC, зоны 200/400 мм.
Смотреть модели
Kadamm МПТ-12Б
МПТ-12Б
МПТ-12Б
Сетка Ø × зона
12 конфигураций + длинные трубы; насос в комплекте.
Смотреть модели
Kadamm МПТ-16-CVD
МПТ-16-CVD
МПТ-16-CVD
CVD 1600 °C
Полный комплекс с газовой стойкой и вакуумным трактом.
Смотреть модели