Что такое фильтр класса U15

ULPA-фильтр класса U15 предназначен для производств, где требуется максимально чистый воздух. В фарме и медицине не применяется — HEPA H14 достаточен. ULPA нужен только в полупроводниковом производстве, где минимальные частицы вызывают брак при фотолитографии чипов.

Технические характеристики

• Эффективность фильтрации: 99,9995 % по MPPS
• Размер задерживаемых частиц: 0,1–0,2 мкм
• Стандарт: ГОСТ Р ЕН 1822-1
• Начальное сопротивление: 350–500 Па при номинальном расходе
• Типовой ресурс: 5–7 лет с многоступенчатой предфильтрацией

Применение

• Полупроводниковое производство классов ISO 4–5
• Фотолитография для производства микросхем 28 нм и тоньше
• Сборка прецизионной оптики и лазерных компонентов
• Производство дисплеев OLED, AMOLED
• Чистые помещения для исследований нанотехнологий

Конструктивные исполнения в каталоге

Преимущественно с PTFE-мембраной для минимизации эмиссии частиц из самой фильтрующей среды. Мини-пакетные исполнения для встраивания в ФВМ.

Типовые размеры

• 610×610 мм, 1220×610 мм — для растровых потолков fabs
• Специальные размеры под конкретный проект