Фильтры класса U16 по ГОСТ Р ЕН 1822-1 — самый высокий стандартный класс фильтрации. Задерживают 99,99995 % частиц по MPPS — в 1000 раз эффективнее HEPA H14. Применяются в производстве 5G-компонентов, в фотолитографии для микросхем 5–7 нм, в исследовательских нанотехнологических центрах.
Кратко
U16 — высший класс стандартной фильтрации. Эффективность 99,99995 % по MPPS.
Применяется в производстве 5G, в фотолитографии для чипов 5–7 нм, в нанотехнологических центрах.
Что такое фильтр класса U16
ULPA-фильтр класса U16 — самый дорогой и эффективный фильтр в стандартной классификации EN 1822. Применяется только в специальных применениях, где требуется максимально возможная чистота воздуха.
Технические характеристики
Эффективность фильтрации: 99,99995 % по MPPS
Размер задерживаемых частиц: 0,05–0,15 мкм
Стандарт: ГОСТ Р ЕН 1822-1
Начальное сопротивление: 450–600 Па при номинальном расходе
Типовой ресурс: 5–7 лет в идеальных условиях fab
Применение
Производство 5G-компонентов и базовых станций
Фотолитография для чипов 5–7 нм
Производство квантовых процессоров
Чистые помещения класса ISO 3
Исследовательские центры нанотехнологий
Производство современных дисплеев AMOLED для смартфонов
Конструктивные исполнения в каталоге
Только с PTFE-мембраной. Стекловолокно не применяется из-за эмиссии частиц.
Типовые размеры
Стандартные размеры под растровые потолки fab
Специальные размеры под конкретный проект производства
Частые вопросы
Очень узкому кругу: производителям микросхем нового поколения (Samsung, TSMC, Intel в передовых fab), производителям 5G-компонентов, разработчикам квантовых вычислений. Для подавляющего большинства задач, включая обычное полупроводниковое производство, U15 или даже H14 достаточны.
В 5–10 раз дороже HEPA H14 того же типоразмера. Цена обычно обсуждается под конкретный проект. Стоимость владения учитывает не только сам фильтр, но и более мощные вентиляторы (за счёт высокого сопротивления потока) и более дорогую инфраструктуру предфильтрации.